象限突起の解消と高次山成分変動の低減 コア付きリニアモータ駆動によるV-V転がり案内テーブルの円弧運動特性には、一般工作機械に見られる象限突起現象や高次山成分変動が殆ど認められません。自由曲面等変曲点のある形状加工において、滑らかな加工面が得られます。
特長 He-Neレーザによるプローブ位置変位測定。 差圧式加圧方式のため、低測定圧(50mgf)を実現。 低測定圧のため、急傾斜面の測定が可能。(最大72.5度) プローブは空気静圧軸受により支持され、動作が円滑。